行業背景

    光能發電是指利用光伏效應，將太陽能轉化電能的發電模式。與水電、風電、核電等相比，太陽能發電沒有任何排放和噪聲，應用技術成熟，安全可靠。2015年我國光伏新增裝機量約15GW，同比增長40％以上，全國光伏發電累計裝機量約43GW，超越德國成為全球光伏累計裝機量最大的國家。

面臨挑戰

    太陽能光伏電池材料主要有晶體硅材料，晶體硅材料是目前普遍使用的光伏發電材料，高效硅電池的生產建立在高質量材料和成熟的加工工藝基礎上，硅電池工藝已近成熟，提高其光電轉換效率主要靠單晶硅表面微結構處理和分區摻雜工藝。研究SiO2/SiNx等疊層對晶體硅表面的鈍化作用，通過改變SiO2與SiNx薄層厚度以及工藝條件,可增強了對硅片的鈍化以及光陷作用。這樣就涉及到薄膜的厚度、光學常數等關鍵參數的測量與表征的問題。此外碲化鎘(CdTe)、鈣鈦礦等新型薄膜太陽能電池具有轉換效率高、價格低廉、輕便可柔性的點，同樣也涉及到薄膜厚度、光學常數等關鍵參數的測量與表征

解決方案

    通過ME-L穆勒矩陣橢偏儀/SE-L光譜橢偏儀可以快速準確測量SiO2/SiNx疊層或新型碲化鎘、鈣鈦礦等光伏薄膜的厚度、光學常數等。采用集成ME-L/SE-L在線監測裝備系統PMS可快速準確完成產品的測量任務之外，可降低生產成本并完美整合到生產工藝流程中。

2.建立光學模型

客戶價值

    通過ME/SE系列橢偏儀可以快速準確表征光伏薄膜的厚度、光學常數等；確保材料以及產品的品質。此外采用集成ME-L/SE-L在線監測裝備系統PMS可快速準確完成產品的測量任務之外，可完美整合到生產工藝流程中，大幅度提高企業生產效率，帶來更大企業價值。

關聯產品與配置

ME-L穆勒矩陣橢偏儀	SE-PV光譜橢偏儀